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“两束光一干涉,条纹移动半个周期,就是316.4纳米。”
“数条纹,就能量位移。”
他说到这里,声音压低。
“道理不难。”
“难的是,这把尺子自己不能抖。”
“激光器刚点亮时,频率会漂。”
“温度变一点,腔长变一点,频率就跟着跑。”
“你拿一把自己都在哆嗦的尺子去量东西,量出来的数,谁敢信?”
江俊语速快了起来。
“我试了十一种稳频方案。”
“前十种,全废。”
“烧了六根激光管,炸了两块分光镜。”
“有一次反射镜崩了,碎片直接钉进防护板里。”
他抬手拍了拍那台设备,动作很轻。
“上个月,第十一种方案终于跑通了。”
“塞曼效应分裂双频,再加热敏电阻反馈环路,把腔长锁住。”
这一次,他没有再多解释。
他走到设备旁边,按下侧面的绿色电源键。
一束极细的红色激光射出。
光束经过分光棱镜,分成两路,打在测试导轨的反光镜上。
光路尽头,电子探测器上的绿色数字瞬间开始跳动。
快得像乱了套。
江俊没说话。
林希也没说话。
两人一起盯着屏幕。
十秒。
二十秒。
三十秒。
数字慢了下来。
最后,尾数稳住了。
江俊这才转头看向林希。
他脸上没有笑,只有三年熬出来的笃定。
“工作台位移分辨率,15纳米。”
“也就是0.015微米。”
“重复定位精度,正负20纳米以内。”
他指了指玻璃窗外的无尘室方向。
“1.5微米线宽,套刻容差300纳米。”
“只要控制系统跟得上,我这把尺子,能把工作台误差压进安全线以内。”
林希盯着探测器上纹丝不动的尾数,沉默了好几秒。
然后,他长长吐出一口气。
脑海里,透明的直播间屏幕上,弹幕直接炸了。
【卧槽!15纳米!1984年的国产激光干涉仪!】
【这不是造设备,这是把时间线往前硬拽了十几年!】
【光刻机以前是摸黑走路,现在等于开了高精度导航!】
【江俊真牛啊!三年前救女儿,三年后给国家造出一把纳米尺!】
【这把尺子一出,32位芯片的物理底座稳了一半!】
林希站起来,走到江俊面前。
他没说漂亮话,只是郑重伸出手,用力握了一下。
江俊被他攥得手指发疼,忍不住咧嘴。
“林经理,轻点。”
“我还得用这手调光路呢。”
林希看着他,重重点头。
“江工,辛苦了。”
“这把尺子,是咱们冲击32位芯片最硬的底牌。”
……