第三百八十四章 名师归国 集群攻坚(1/2)

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张远方导师要来沪上的消息,像一阵风,吹遍了整个科创园。

这位名叫顾维钧的老教授,是国际碳化硅材料领域的权威,深耕行业四十余年,主持过三项国际顶尖的半导体材料攻关项目。他的归国,不仅意味着沪上的第三代半导体团队将添一员猛将,更能带动整个产业链的技术升级。

黄江北特意叮嘱科创园管委会,把实验大楼顶层最好的实验室腾了出来,设备按国际顶尖标准配齐,连顾教授在美国常用的那台高精度晶格分析仪,都连夜从合作高校调了过来。

顾维钧抵达沪上的那天,天刚蒙蒙亮。

没有鲜花,没有红毯,只有黄江北、张远方师徒三人,站在机场出口的晨曦里。

顾维钧穿着一件洗得发白的中山装,头发花白,精神却矍铄。他一眼就看到了人群中的张远方,笑着招了招手,语气里带着几分欣慰:“远方,没给你丢脸。”

“老师,您能来,是我们的福气。”张远方快步上前,眼眶微红。

黄江北主动伸出手,握住顾维钧的手,语气诚恳:“顾教授,欢迎回家。沪上的实验室,随时等您坐镇。”

“黄市长太客气了。”顾维钧摆了摆手,目光望向远方,“我这把老骨头,折腾了一辈子,就想为国家做点实事。听说你们的外延层平整度做到了0.05微米,我是来取经的,也是来搭把手的。”

车子直奔科创园。

刚走进顶层实验室,顾维钧的目光就被那台晶格分析仪吸引了。他快步走上前,戴上老花镜,仔细打量着仪器的参数,手指轻轻拂过机身,嘴里喃喃自语:“好东西,比我在美国那台还新。”

张远方连忙递上一沓厚厚的实验数据:“老师,这是我们最近的研究成果,外延层工艺已经稳定,器件封装也和车企达成了合作。现在卡在了材料掺杂的环节,掺杂浓度和均匀性始终达不到量产要求。”

顾维钧接过数据,坐在工作台前,一页一页地翻看。林舟和沈策也凑了过来,紧张地看着老教授的脸色。

窗外的太阳渐渐升高,阳光洒在数据纸上,泛着金色的光。

顾维钧看了足足两个小时,才放下手里的笔,抬头看向三人,语气沉稳:“你们的工艺路线是对的,但掺杂环节太急了。碳化硅的晶格结构特殊,掺杂剂的扩散速度要精准控制,不能一味追求浓度,忽略了均匀性。”

他拿起笔,在数据纸上画了一个复杂的扩散模型:“我建议,采用分步掺杂工艺,先低温预掺杂,再高温扩散,配合等离子体辅助技术,这样既能保证浓度,又能提升均匀性。”

张远方三人眼睛一亮,异口同声道:“对啊!我们怎么没想到!”

“科研就是这样,差之毫厘,谬以千里。”顾维钧笑了笑,“我在美国的实验室,曾经为了这个问题,折腾了整整一年。”

接下来的日子里,实验室里的灯光,亮得更早了。

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